Générateur d’Ozone Ultra-Pur de Qualité Électronique
Présentation du produit
Le Générateur d’Ozone Ultra-Pur de Qualité Électronique est une solution avancée pour la production d’ozone à haute concentration et à ultra-pureté, spécifiquement conçu pour les applications industrielles sensibles telles que l’électronique et la microfabrication. Il utilise une technologie de génération d’ozone optimisée pour garantir des performances stables et une compatibilité avec les procédés exigeants.
Applications clés
Ce générateur est idéal pour les usages nécessitant un gaz ozone de haute qualité :
- Formation de films par CVD (dépôt chimique en phase vapeur) et ALD (dépôt atomique en couche),
- Croissance d’oxydes,
- Développement et décapage de photorésistants,
- Nettoyage de surfaces et traitement de wafer sensibles,
- Autres procédés industriels de fabrication nécessitant un gaz propre et contrôlé.
Caractéristiques techniques principales
Performance de génération d’ozone :
- Concentration d’ozone élevée : jusqu’à 400 mg/L, assurant une efficacité de traitement optimisée.
- Pression de sortie élevée : jusqu’à 3,0 bar, adaptée aux systèmes industriels nécessitant des pressions de fonctionnement supérieures.
- Débit de gaz important, pour répondre aux besoins de processus avec fort volume ou débit.
Qualité et pureté :
- Technologie de génération ultra-pure avec matériaux et processus choisis pour éviter toute pollution métallique ou contamination du gaz.
- Design de structure d’ozone breveté assurant une décharge uniforme et une performance système plus stable.
- Refroidissement par eau et technologie sans ajout d’azote pour préserver la pureté du flux.
Avantages produits
- Haute fiabilité et stabilité adaptées aux environnements de fabrication sensibles.
- Performance supérieure en termes de concentration, pression et pureté d’ozone.
- Conception modulaire et compacte pour intégration facilitée dans des lignes de production.
- Maintenance visuelle simplifiée grâce à une architecture concise.
Résumé technique
| Attribut | Spécification |
|---|---|
| Type de produit | Générateur d’ozone ultra-pur |
| Concentration d’ozone maximale | 400 mg/L |
| Pression de sortie maximale | 3,0 bar |
| Technologie de pureté | Ultra-pure, sans contamination |
| Refroidissement | Par eau |
| Conception | Modulaire, compacte, stable |
Ce générateur d’ozone ultra-pur représente une solution haut de gamme pour les industries exigeantes en termes de qualité de gaz et de performance de traitement. Il combine puissance, stabilité et pureté afin de répondre aux besoins critiques des applications de fabrication électronique et de traitement de surface.
Générateur d’ozone gazeux Ultra-Pur G4
Générateur d’ozone Ultra-Pur G4
Demande de renseignement pour le Générateur d’ozone gazeux Ultra-Pur G4
