Système d’eau ozonée à haute concentration pour l’industrie des semi-conducteurs

Description générale

Le Système d’eau ozonée à haute concentration pour semi-conducteurs G1 est un équipement industriel de haute technologie conçu pour fournir une eau ozonée ultra-pure et à forte concentration.
Il est spécifiquement développé pour répondre aux exigences strictes des procédés de nettoyage, de gravure et d’oxydation dans les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque et de l’électronique de précision.

Le système intègre une technologie avancée de génération d’ozone de haute pureté, un dispositif de mélange haute efficacité et des matériaux ultra-propres résistants à l’ozone, garantissant des performances stables et fiables dans des environnements critiques.

Applications principales

• Nettoyage de wafers dans l’industrie des semi-conducteurs
• Procédés de nettoyage et de traitement dans l’industrie photovoltaïque
• Applications électroniques nécessitant une eau ozonée de haute pureté et haute concentration

Caractéristiques techniques

Débit et concentration

• Débit d’eau ozonée : 10 à 60 L/min (réglable)
• Concentration d’ozone dissous : 5 à 150 ppm

Performances

• Montée rapide en concentration d’ozone
• Pression de sortie du gaz ozone jusqu’à 3,0 bar
• Technologie de mélange ultra-pur à haute efficacité

Matériaux et conception

• Utilisation de matériaux à ultra haute pureté, résistants à l’ozone
• Réduction du risque de pollution métallique et de précipitation
• Conception adaptée aux environnements de production de classe salle blanche

Sécurité et contrôle

• Système de sécurité par interverrouillage avec alarmes intégrées
• Surveillance continue de l’état du système
• Contrôle à distance et transmission de données pour intégration dans des lignes automatisées

Avantages clés

• Production d’une eau ozonée ultra-propre à haute concentration
• Fiabilité élevée pour les procédés industriels critiques
• Intégration facile dans les systèmes de production automatisés
• Solution adaptée aux normes élevées de l’industrie des semi-conducteurs

Compatibilité et intégration

Le système peut être utilisé en combinaison avec :

• Générateurs d’ozone ultra-pur de grade électronique
• Systèmes de distribution de gaz ozone
• Autres systèmes d’eau ozonée pour applications semi-conducteurs et photovoltaïques